量测原理:非接触式激光测厚仪由专用激光器产生线型光束,以一定的倾角投射到待测量目标上,由于待测量目标与周围基板存在高度差,此时观测到的目标和基板上的激光束相应出现断续落差.根据三角函数关系可以用观察到的落差,计算出待测目标与周围基板存在高度差,从而实现非接触式的快速测量.

量测软件:视频观察,图象保存,厚度测量,数据记录,背景光,激光亮度控制,面积(方形、不规则多边形、圆形)/体积/间距(X轴、Y轴)/夹角测量,可记忆24条生产线/任意数量产品.

S.P.C软件:根据指定的产品、生产线和日期范围进行数据查询、修改、删除、最大值、最小值、方差、标准差、不良数、不良率、偏度、峰度、Ca、Cp、Cpk,并可绘制、预览、打印X-BAR管制图和R管制图（其中的管制参数可自行设定）.